质量流量计和压力控制器问题.
刘玉蓉
发布于2014-12-05 17:51
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布鲁克斯的5820a压力控制器，标牌上写着input：0-5v，output 0-5v；inlet pressure：8bar，outpressure：1bar、10slpm。我想控制电压输入端6bar。是设定3.8V就可以了吗？输出是什么呢？是实际的压力吗？这个流量10slmp是大允许流量吗？
布鲁克斯的5850s质量流量计，标牌上写着in：0-5v，out 0-5v；输入8bar，输出6bar。150sccm。我要控制75sccm就给定2.5v吗？这个压力又是什么呢？超出会有什么影响？
图片说明： 1，质量流量计 2，压力控制器
佳答案
你的理解是对的。输入端6bar，设定3.75V。输出你采集模拟量信号，按照对应关系可以计算出压力或流量值。10slmp应该是对应输出1bar时的大流量。
输出大150sccm时对应的大压力是6bar。超出会对你的传感器有影响，太大时会损坏你的传感器。
